微細加工技術雜志 統計源期刊
主管單位：信息產業部 主辦單位：中國電子科技集團公司第48研究所
雙月刊 審稿周期：3-6個月
《微細加工技術》由伍三忠擔任主編，創刊于1983年，由信息產業部主管、中國電子科技集團公司第48研究所主辦的一本電子領域專業期刊。主要刊載該領域內的原創性研究論文、綜述和評論等，力求及時、準確、全面的反映該領域的政策、技術、應用市場及動態。
- 43-1140/TN 國內刊號
- 1003-8213 國際刊號
- 0.19 影響因子
- 758 總被引量
- 1983 創刊時間
微細加工技術期刊信息
- 出版語言：中文
- 創刊時間：1983年
- 國際刊號：1003-8213
- 曾用名：微細加工技術
- 紙張開本：A4
- 國內刊號：43-1140/TN
- 出版地區：湖南
- 發行周期：雙月刊
微細加工技術期刊榮譽
微細加工技術編輯部聯系方式
地址：長沙市第96號信箱301分箱（長沙黑石鋪）
郵編：410111
主編：伍三忠
微細加工技術發文選摘
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1、電子束環氧基負膠的曝光反應機理分析
作者：盧文娟; 張玉林; 孔祥東
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2、環境因素對微納加工中精確定位影響的研究
作者：張波; 薛虹
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3、電子束直寫中X射線光刻掩模的熱形變研究
作者：尚鴻雁; 王永坤
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4、飛秒激光應用于合金材料微細加工的試驗研究
作者：劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧
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5、光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析
作者：鄧習樹; 吳運新; 隆志力; 楊輔強
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6、微細工件的高頻群脈沖ECLM試驗研究
作者：付偉; 張之敬; 溫楠
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7、基于AFM的多圖層圖形加工
作者：李曉娜; 韓立
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8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線
作者：李紅; 薛成山; 莊惠照; 張曉凱; 陳金華; 楊兆柱; 秦麗霞
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9、基于多種群遺傳算法的膜系優化設計
作者：劉磊; 金春水; 金偉華
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10、Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學特性研究
作者：李麗; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陳希明; 馮世娟
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